キヤノンー小高い ナノインプリント半導体製造装置を東芝メモリ 四日市工場に納入
キヤノン<7751.T>が小高い。同社は20日に、2004年より研究開発を進めているナノインプリント技術を用いた半導体製造装置「FPA-1200NZ2C」を、東芝<6502.T>傘下の東芝メモリ 四日市工場に納入したと発表した。
ナノインプリント半導体製造装置は、マスク(型)をウエハー上のレジスト(樹脂)に、スタンプのように直接押し付けることで、マスクの回路パターンを忠実に転写することができ、従来の光露光装置に比べて高解像なパターンを描けることが特長という。 同社は今回の納入により、世界初となるナノインプリント技術を用いた半導体メモリーの量産に向けて、開発をさらに加速するとしている。
関連ニュース
日本株の最新ニュース
関連コンテンツ